[投影之窗消息] 日前，JSR開始研究D-MEC三維光成型機(jī)的分辨率到數(shù)百nm級，其于2004年開始銷售具有μm級分辨率的光成型機(jī)，以開拓新應(yīng)用領(lǐng)域中的材料市場。盡管該裝置的原理與使用紫外線硬化樹脂的三維成型機(jī)相同，但由于加工分辨率為μm級，因此可加工MEMS元件及微小裝置。
為了提高分辨率，JSR考慮改變光學(xué)系統(tǒng)。微型成型機(jī)需要涂布紫外線硬化樹脂，使其變成數(shù)μm厚的薄層，以1.7μm的平面方向分辨率對該層進(jìn)行紫外光照射，便可形成任何形狀。反復(fù)操作該工序并重疊薄層，便能形成立體形狀。這時(shí)，該公司的裝置可使用DMD（數(shù)字微鏡器件）芯片進(jìn)行紫外光照射。DMD芯片有1024×768個(gè)13.7μm見方的微鏡，可利用透鏡聚集其反射光。1.7μm的水平方向分解能取決于該透鏡的縮小率。用透鏡聚光時(shí)，可相應(yīng)地提高分辨率。
|
